国家/地区 日本(6)
IPC部 H(6) C(5) B(4)
IPC大类 H01(6) C01(5) B82(4)
C23(4) C30(3) H02(2)
IPC小类 H01L(6)
IPC C01B031/02(5) B82Y030/00(4) C01B031/04(4)
B82Y040/00(3) C30B029/02(3) H01L031/04(3)
B82B003/00(2) C01B032/188(2) H01B001/04(2)
H01L031/042(2)
发明人 VEERASAMY V(4) VEERASAMY V S(4)
公开年 2011(5)
申请年 2009(4) 
专利权人 GUARDIAN GLA.(4) GUARDIAN IND(4) GUARDIAN IND.(4) VEERASAMY V .(2)